電子ビーム照射による不純物ドーピング

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タイトル別名
  • Impurity doping in semiconductors using high-energy electron bombardment.
  • デンシ ビーム ショウシャ ニ ヨル フジュンブツ ドーピング

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収録刊行物

  • 真空

    真空 30 (5), 335-338, 1987

    一般社団法人 日本真空学会

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