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- KANETO Shigeru
- Osaka Vacuum, Ltd.
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- HASHIMOTO Shoichi
- Osaka Vacuum, Ltd.
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- NISHIDE Akihiko
- Osaka Vacuum, Ltd.
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- IGUCHI Masashi
- Osaka Vacuum, Ltd.
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- OIKAWA Hisashi
- Osaka Vacuum, Ltd.
Bibliographic Information
- Other Title
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- 大型アルミニウム合金製ターボ分子ポンプ
- オオガタ アルミニウム ゴウキンセイ ターボ ブンシ ポンプ
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Journal
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- Shinku
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Shinku 27 (5), 429-432, 1984
The Vacuum Society of Japan
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679041408512
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- NII Article ID
- 130000865476
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- NII Book ID
- AN00119871
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- ISSN
- 18809413
- 05598516
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- NDL BIB ID
- 2993848
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
