Observation of Lattice Strain near Interface using High-Resolution RBS
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- NAKAJIMA Kaoru
- Department of Micro Engineering, Kyoto University
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- SUZUKI Motofumi
- Department of Micro Engineering, Kyoto University
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- KIMURA Kenji
- Department of Micro Engineering, Kyoto University
Bibliographic Information
- Other Title
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- 高分解能ラザフォード後方散乱分光法（高分解能ＲＢＳ）を用いた界面近傍の格子ひずみ測定
- コウ ブンカイノウ ラザフォード コウホウ サンラン ブンコウホウ コウ ブンカイノウ RBS オ モチイタ カイメン キンボウ ノ コウシ ヒズミ ソクテイ
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Journal
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- Shinku
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Shinku 49 (5), 286-289, 2006
The Vacuum Society of Japan
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679041514880
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- NII Article ID
- 10017581088
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- NII Book ID
- AN00119871
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- ISSN
- 18809413
- 05598516
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- NDL BIB ID
- 7979704
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles