<I>In situ</I> Analysis of Residues Formed on Inner Surface of Dry-Etching Chamber
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- KAWADA Hiroki
- Mechanical Engineering Research Laboratory, Hitachi Ltd.
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- YAMANE Miyuki
- Mechanical Engineering Research Laboratory, Hitachi Ltd.
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- SUZUKI Shinichi
- Device Development Center
Bibliographic Information
- Other Title
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- 真空利用プロセスの診断と制御 最近の進展 ドライエッチャ処理室内の堆積物のｉｎ ｓｉｔｕ分析
- ドライエッチャ ショリ シツナイ ノ タイセキブツ ノ in situ ブンセキ
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Journal
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- Shinku
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Shinku 44 (7), 624-630, 2001
The Vacuum Society of Japan
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679042164608
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- NII Article ID
- 10007389569
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- NII Book ID
- AN00119871
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- ISSN
- 18809413
- 05598516
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- NDL BIB ID
- 5884040
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles