Evacuation of Process Gases and Environmental Control
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- UKAI Katsumi
- Vacuum Component Div., Anelva Corporation
Bibliographic Information
- Other Title
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- 真空利用プロセスの診断と制御 最近の進展 プロセスガスの排気と環境管理 省エネ・プロセスガスのリサイクル
- プロセスガス ノ ハイキ ト カンキョウ カンリ ショウエネ プロセスガス ノ リサイクル
- 省エネ・プロセスガスのリサイクル
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Journal
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- Shinku
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Shinku 44 (7), 639-648, 2001
The Vacuum Society of Japan
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679042165632
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- NII Article ID
- 10007389607
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- NII Book ID
- AN00119871
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- ISSN
- 18809413
- 05598516
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- NDL BIB ID
- 5884437
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles