微小ギャップの排気　　中間流・分子流のシミュレーション法　　大面積微小ギャップの排気への応用

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タイトル別名
  • Simulation Method of Flows in Transitional and Free-Molecular Regimes
  • チュウカンリュウ ブンシリュウ ノ シミュレーションホウ ダイ メンセキ ビショウ ギャップ ノ ハイキ エ ノ オウヨウ
  • 大面積微小ギャップの排気への応用

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収録刊行物

  • 真空

    真空 43 (10), 939-945, 2000

    一般社団法人 日本真空学会

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参考文献 (2)*注記

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