イオン照射による半導体微細セル構造の自己組織化形成

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タイトル別名
  • Self-Organized Formation of Cellular Structure on Semiconductors by Ion-Implantation

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収録刊行物

  • まてりあ

    まてりあ 43 (12), 1014-1014, 2004

    公益社団法人 日本金属学会

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参考文献 (4)*注記

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