ガスと表面処理  スパッタリングプロセスとガス

書誌事項

タイトル別名
  • Application of Gases to Surface Finishing Technologies. Effects of the Gases in Sputtering Processes.
  • スパッタリング プロセス ト ガス

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収録刊行物

  • 表面技術

    表面技術 49 (6), 542-546, 1998

    一般社団法人 表面技術協会

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参考文献 (12)*注記

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