小特集　ダイヤモンド薄膜の成膜技術・評価および応用　有磁場マイクロ波プラズマＣＶＤ法およびマイクロ波プラズマＣＶＤ法によるダイヤモンド薄膜の作製

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書誌事項

タイトル別名
  • Special Issue/Deposition Methods, Characterizations and Applications of Diamond Films. Deposition of Diamond Films Using Magneto-Active Plasma CVD and Microwave Plasma CVD.
  • ユウジバ マイクロハ プラズマ CVDホウ オヨビ マイクロハ プラズマ CV

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収録刊行物

  • 表面技術

    表面技術 42 (12), 1189-1195, 1991

    一般社団法人 表面技術協会

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