Clean Technology Supporting Semiconductor Manufacturing Process. Ultrapure Water. Production, Analysis and Functional Water.
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- MORITA Hiroshi
- Kurita Water Industries Ltd.
Bibliographic Information
- Other Title
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- 半導体プロセスを支えるクリーン化技術 超純水技術 製造・分析技術と機能水
- チョウジュンスイ ギジュツ セイゾウ ブンセキ ギジュツ ト キノウスイ
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Journal
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- Journal of The Surface Finishing Society of Japan
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Journal of The Surface Finishing Society of Japan 50 (10), 873-878, 1999
The Surface Finishing Society of Japan
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679091457920
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- NII Article ID
- 10006252439
- 10004622891
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- NII Book ID
- AN1005202X
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- ISSN
- 18843409
- 09151869
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- NDL BIB ID
- 4871062
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles