液晶プロセスを変革する透明導電膜の新技術  ITOドライエッチングとパターニング技術

  • 伴 厚志
    シャープ (株) 液晶開発本部液晶研究所

書誌事項

タイトル別名
  • The Latest ITO Technology Innovating LCD Processes. Dry Etching of ITO Film and Patterning Technology.
  • ITO ドライエッチング ト パターニング ギジュツ

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収録刊行物

  • 表面技術

    表面技術 50 (9), 786-790, 1999

    一般社団法人 表面技術協会

参考文献 (12)*注記

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