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- タイトル別名
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- Synthesis of Diamond on Iron Substrate by Hot-Filament CVD
- ネツ フィラメント CVDホウ ニ ヨル テツ キバン ジョウ エ ノ ダイヤモンド ノ ゴウセイ
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抄録
Diamond synthesis onto iron substrate was tried by hot-filament chemical vapor deposition (HFCVD). Diamond can be synthesized at an atmospheric pressure by spraying a source gas onto an iron substrate with a nozzle. Diamond crystal grows to a size of about 20μm in 180 min. Diamond synthesized by the present method contains only a small amount of non-diamond carbon. Diamond synthesis on a silicon wafer is also enhanced by spraying a source gas onto a substrate like an iron case.
収録刊行物
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- 表面技術
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表面技術 54 (10), 689-692, 2003
一般社団法人 表面技術協会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679094884352
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- NII論文ID
- 10012452792
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- NII書誌ID
- AN1005202X
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- ISSN
- 18843409
- 09151869
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- NDL書誌ID
- 6741900
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可