Thermodynamics of thermal CVD process by thermodynamics, phase diagram, and transfer rate theory.

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  • 熱CVDにおける熱力学,相図及び移動速度論的解析
  • ネツ CVD ニ オケル ネツリキガク ソウズ オヨビ イドウ ソクドロンテキ

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Abstract

記事分類: 化学・化学工業--理論化学・物理化学

Journal

  • RESOURCES PROCESSING

    RESOURCES PROCESSING 41 (4), 184-189, 1994

    The Resources Processing Society of Japan

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