熱ＣＶＤにおける熱力学，相図及び移動速度論的解析

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タイトル別名
  • Thermodynamics of thermal CVD process by thermodynamics, phase diagram, and transfer rate theory.
  • ネツ CVD ニ オケル ネツリキガク ソウズ オヨビ イドウ ソクドロンテキ

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記事分類: 化学・化学工業--理論化学・物理化学

収録刊行物

  • 資源処理技術

    資源処理技術 41 (4), 184-189, 1994

    一般社団法人 環境資源工学会

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