Micromachines.The trend in microprocessing and assembly technique.The microprocessing.

DOI Web Site
  • NAKAO M
    東京大学工学部産業機械工学科
  • HATAMURA Y
    東京大学工学部産業機械工学科

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  • マイクロマシン　マイクロ加工および組立技術の動向　マイクロ機械加工
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  • BME

    BME 9 (8), 33-37, 1995

    Japanese Society for Medical and Biological Engineering

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