書誌事項
- タイトル別名
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- Possibility of femtosecond laser microfabrication applying standing wave
- テイザイハ オ エンヨウ シタ フェムトビョウ レーザ カコウ ノ カノウセイ ニ ツイテ
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抄録
フェムト秒レーザは従来のレーザと比べて光子密度が高く，多光子吸収を引き起こすなどの特徴を有しており，これまでにない微細加工や改質効果が期待されている．そこで本研究では，重ねた2枚のガラスにフェムト秒レーザを照射した際にガラス間隙で生じる加工現象に着目し，ガラスにおける新たな微細加工の可能性を探ることにした．基礎実験の結果，ガラス間隙がレーザの半波長倍であるときにガラス合わせ面内で微細な加工痕が生じることを突き止め，定在波の発生が加工に関与していることを明らかにした．この加工原理を利用することで，ガラス間隙によって生じる干渉縞に従った微細加工が可能となった．さらにガラス間隙を1/4波長分アクチュエータで制御すれば，レーザ発振やメカニカルシャッターを制御することなく，加工のON/OFF制御が可能となった．以上より，定在波を援用したフェムト秒レーザ微細加工の新たな可能性を見出すことができた．
収録刊行物
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- 砥粒加工学会誌
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砥粒加工学会誌 54 (4), 218-223, 2010
社団法人 砥粒加工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679309486208
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- NII論文ID
- 130004494524
- 10026237114
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- NII書誌ID
- AN10192823
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- ISSN
- 18807534
- 09142703
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- NDL書誌ID
- 10656845
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- CiNii Articles
- KAKEN
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
