レプリカ法によるガラス微小穴内部形状の間接測定

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書誌事項

タイトル別名
  • Measurement of inner geometry of fine glass hole by means of indirect replica method
  • 第１報：研磨断面直接測定との比較
  • 1<sup>st</sup> Report: Comparison to direct measurement of cross-sectional glass hole shape

抄録

本論文では，ガラス微小穴内部形状の測定について，レプリカ測定法を断面測定法と比較して述べる．前者は間接測定であり，後者は直接測定である．実験では，厚さ4mmのガラス板に直径1mmの貫通穴をあけ，次にこの穴のレプリカを作製しその外周を非接触測定機で測定してレプリカの直径を得た．レプリカの根本部分は精度よく測定できないため評価対象外とした．その後，ガラス板を研磨して穴の内部を露出させ，穴の円形画像からガラス穴の直径を計算で求めた．最後に，2つの直径を比較し，両者が一致していることを確認した．その結果，レプリカ方は断面測定法と同様にガラス微小穴内部形状の測定に有効であるという結論を得た．

収録刊行物

  • 砥粒加工学会誌

    砥粒加工学会誌 61 (12), 659-665, 2017-12-01

    社団法人 砥粒加工学会

キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282679310361600
  • NII論文ID
    130006733577
  • DOI
    10.11420/jsat.61.659
  • ISSN
    18807534
    09142703
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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