Trends in Next-Generation LSI's and the Fabrication Line — Technology Forecast and 300-mm Wafer Fab —

DOI Web Site 1 Citations 14 References
  • SUNAMI Hideo
    Professor, Research Center for Nanodevices and Systems, Hiroshima University
  • SUZUKI Michio
    Senior Chief Engineer, Industrial Environment Control and Facilities Division, Hitachi Plant Engineering and Construction Company, Ltd.

Bibliographic Information

Other Title
  • 次世代集積回路と製造ライン －今後のデバイス展望と300mmウエハ製造ラインの動向－
  • ジ セダイ シュウセキ カイロ ト セイゾウ ライン コンゴ ノ デバイス テンボウ ト 300mm ウエハ セイゾウ ライン ノ ドウコウ

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  • Earozoru Kenkyu

    Earozoru Kenkyu 14 (1), 11-18, 1999

    Japan Association of Aerosol Science and Technology

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