E部門発足20周年記念特集 ～センサ・マイクロマシン成功体験談～：シリコン振動式圧力センサの開発（一人娘の伝説）

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• CRID

  1390282679439494272

• NII論文ID

  130005072479

• DOI

  10.1541/ieejsmas.135.nl6_2

• ISSN

  13475525

  13418939

• Web Site

  https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/135/6/135_NL6_2/_pdf

• 本文言語コード

  ja

• データソース種別

  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles