極薄圧電ひずみセンサを用いたフレキシブルセンサアレイシートの開発

DOI Web Site Web Site 参考文献5件
  • 山下 崇博
    産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
  • 高松 誠一
    東京大学大学院 新領域創成科学研究科
  • 岡田 浩尚
    産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
  • 伊藤 寿浩
    東京大学大学院 新領域創成科学研究科 技術研究組合NMEMS技術研究機構
  • 小林 健
    産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター

書誌事項

タイトル別名
  • Development of Flexible Piezoelectric Strain Sensor Array
  • ゴクウス アツデンヒズミ センサ オ モチイタ フレキシブルセンサアレイシート ノ カイハツ

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説明

<p>In this paper, we present a novel flexible sensor array manufacturing process that involves transfer printing methods using a chip mounter with a vacuum collet. We successfully transfer-printed continuously very fragile microelectromechanical systems (MEMS)-based 5-mm-long, 1-mm-wide, 5-µm-thick high-aspect-ratio ultra-thin PZT(1.9µm)/Si(3µm) strain sensors onto a polyimide based flexible printed-circuit (FPC) substrate with etched Cu wiring. Then, we connected the sensors to the Cu wiring by printing insulating and conductive pastes using a screen printer. The output voltage based on the deformation behavior of the test plate was generated from the flexible piezoelectric strain sensor array attached to the plate. Therefore, the developed piezoelectric sensor array is capable of easily performing the distribution measurement of the strain leading to damage such as cracks.</p>

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参考文献 (5)*注記

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