AMLCD用ガラス基板の耐薬品性 : 特にフッ酸およびバッファードフッ酸による浸食について : 材料・部品および周辺技術関連 : 情報ディスプレイ

DOI

書誌事項

タイトル別名
  • Chemical Durability of AMLCD Glass Substrate : Corrosion of Glass Substrates by Hydrofluoric and Buffered Hydrofluoric Acids

説明

AMLCD用無アルカリガラス基板の耐薬品性を塩酸、硫酸、硝酸、フッ酸、バッファードフッ酸(BHF)および水酸化ナトリウムの各薬液を用いて調べた。ガラス基板はBHF処理後にくもりを生じることがあり、これは微小な突起によることが顕微鏡観察によりわかった。突起の発生防止に有効なBHFの組成、ならびにガラス基板の洗浄条件等が明らかになった。

収録刊行物

キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282679497414400
  • NII論文ID
    110003678579
  • DOI
    10.11485/tvtr.17.44_25
  • ISSN
    24330914
    03864227
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

問題の指摘

ページトップへ