高垂直磁気異方性Co-Cr-Pt薄膜

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  • Co-Cr-Pt film with high perpendicular magnetic anisotropy
  • コウスイチョク ジキ イホウセイ Co Cr Pt ハクマク

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抄録

垂直記録媒体用Co-Cr-Pt膜に関して、Pt量9〜26 at%、Cr量0〜30 at%の広い膜組成範囲における磁気特性を膜組成の観点から調べた。その結果、膜厚30nmのCo-Cr-Pt膜において、Cr量14〜18 at%、Pt量13〜21 at%の範囲で5000 Oe以上の大きな垂直抗磁力(Hc_<&bottom;>)を得た。また、垂直方向角型比(SQ_<&bottom;>)はほぼ1であり、反転磁区生成磁界(H_N)の絶対値も最大で2500 Oeと大きな値であった。さらに、10 kOe以上の異方性磁界(Hk)を示す膜がCr、Pt量ともに12〜24 at%の組成範囲で得られた。このような特性は媒体雑音や熱減磁の低減に有効なものと考えられる。

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