書誌事項
- タイトル別名
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- Analysis of secondary electron emission yield of MgO thin films
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抄録
AC-PDPの保護膜として用いられているMgOについて、2次電子放出係数(γ)測定装置を構築し、測定を行った。くり返しの測定精度、時間安定性とも測定ばらつき5%以内に収まった。この系を用い、金属(銅)およびMgOの2次電子放出特性を測定した。CuとMgOの2次電子放出特性の差から、金属と絶縁物の2次電子放出の違いについて述べる。また、イオン加速電圧とγ、加熱活性化とγの関係を測定した。更に、2次電子放出メカニズムを解明するため、2次電子放出のエネルギー分布の測定を行い、金属と、絶縁物の分布の差異、分布に対する表面電位の影響を議論する。
収録刊行物
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- 映像情報メディア学会技術報告
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映像情報メディア学会技術報告 23.1 (0), 159-163, 1999
一般社団法人 映像情報メディア学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679501418112
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- NII論文ID
- 110003686519
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- NII書誌ID
- AN1059086X
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- ISSN
- 24241970
- 13426893
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可