MgOの2次電子放出係数測定

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タイトル別名
  • Analysis of secondary electron emission yield of MgO thin films

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抄録

AC-PDPの保護膜として用いられているMgOについて、2次電子放出係数(γ)測定装置を構築し、測定を行った。くり返しの測定精度、時間安定性とも測定ばらつき5%以内に収まった。この系を用い、金属(銅)およびMgOの2次電子放出特性を測定した。CuとMgOの2次電子放出特性の差から、金属と絶縁物の2次電子放出の違いについて述べる。また、イオン加速電圧とγ、加熱活性化とγの関係を測定した。更に、2次電子放出メカニズムを解明するため、2次電子放出のエネルギー分布の測定を行い、金属と、絶縁物の分布の差異、分布に対する表面電位の影響を議論する。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282679501418112
  • NII論文ID
    110003686519
  • NII書誌ID
    AN1059086X
  • DOI
    10.11485/itetr.23.1.0_159
  • ISSN
    24241970
    13426893
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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