書誌事項
- タイトル別名
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- High-Density Recording in Mass-Productive Polycrystalline Ferroelectric Thin Film Media
- 量産性を考慮した強誘電体高密度記録用多結晶薄膜記録媒体
- リョウサンセイ オ コウリョ シタ キョウ ユウデンタイ コウミツド キロクヨウ タケッショウ ハクマク キロク バイタイ
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抄録
強誘電体高密度記録の実用化を目的として,多結晶Pb(Zr,,Ti)O_3(PZT)薄膜記録媒体を量産性の見込めるプロセスにより作製し,その記録媒体に対し実験的に記録密度1Tbit/in^2での高密度記録を行うことに成功した.基板としてSiウェハを,下部電極としてSrRuO_3(SRO)薄膜を用い,その上へ結晶性の良い多結晶PZT薄膜を溶液気化有機金属気相成長法(LD-MOCVD)により成膜した.PZT薄膜の表面を化学機械研磨(CMP)により平滑化しその表面粗さを1nm(RMS)以下とした.このPZT薄膜に対しドメインの反転実験を行った結果,非常に制御性良く微細なドメインの反転が行えることを確認し,この薄膜が超高密度強誘電体記録の量産可能な記録媒体として有望であることを示した.
収録刊行物
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- 映像情報メディア学会技術報告
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映像情報メディア学会技術報告 33.41 (0), 25-29, 2009
一般社団法人 映像情報メディア学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679504634624
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- NII論文ID
- 110007484215
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- NII書誌ID
- AN1059086X
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- ISSN
- 24241970
- 13426893
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- NDL書誌ID
- 10445173
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可