書誌事項
- タイトル別名
-
- A CMOS-MEMS-Based Label-Free Protein Sensor Using Fabry-Perot Interferometer
- CMOS-MEMS技術を用いたファブリ・ペロー干渉計による非標識タンパク質センサ
- CMOS-MEMS ギジュツ オ モチイタ ファブリ ・ ペロー カンショウケイ ニ ヨル ヒヒョウシキ タンパクシツ センサ
この論文をさがす
説明
本研究では,超高感度に表面応力の検出が可能なファブリ・ペロー型MEMSセンサと信号処理回路の集積化プロセス技術の開発を行った.提案するセンサは,ファブリ・ペロー干渉を利用し,膜の変位を透過率の変化に変換し,フォトダイオードで信号を読み出すことにより,非標識にタンパク質を検出することができる.センサの理論的最少検出限界は1μN/mで,これは従来のピエゾ検出方式を二ケタ上回る.2次元にアレイ化されたMEMSセンサからの微小な光電流は集積化されたソースフォロワ回路と選択回路によって信号処理することで読み出される.製作したMOS回路およびMEMSセンサの動作を確認し,集積化プロセス技術の確立に成功した.この集積化MEMSセンサアレイは複数のガンのスクリーニング検査に適用することが可能である.
収録刊行物
-
- 映像情報メディア学会技術報告
-
映像情報メディア学会技術報告 37.19 (0), 5-8, 2013
一般社団法人 映像情報メディア学会
- Tweet
キーワード
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1390282679506209536
-
- NII論文ID
- 110009597628
-
- NII書誌ID
- AN1059086X
-
- ISSN
- 24241970
- 13426893
-
- NDL書誌ID
- 024387365
-
- 本文言語コード
- ja
-
- データソース種別
-
- JaLC
- NDL
- CiNii Articles
-
- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
