Ion-beam and plasma processing techniques for thin-film synthesis of superhard materials in boron-carbon-nitrogen system

DOI 1 Citations

Bibliographic Information

Other Title
  • イオン・プラズマプロセスによる硼素,炭素,窒素系超硬質薄膜の合成

Abstract

ダイヤモンドに次ぐ硬さ;をもつ立方羅窒化瑚素 (cBN), ダイヤモンドをしのぐ硬さをもつことが理論的に予測されている六方鋸型窒化炭素 (β-C3N4), さらに未知の新物質として期待の高いBCN系化合物等の次世代超硬質物質は,いずれも熱化学平衡プロセスでは高温高圧下でのみ含成が可能とされる準安定化合物であり,常温に近い基板上で薄膜として念成するためには,物質構成元素のいずれをも高い励起状態に活性化した非平衡反応場を用いることが必要不可欠である,本稿では,イオンビームおよびプラズマを用いたこれらの次泄代超硬質物質の薄膜會成技術に関する現状について紹介するとともに今後の課題について概説する.

Journal

  • Oyo Buturi

    Oyo Buturi 67 (6), 659-663, 1998

    The Japan Society of Applied Physics

Citations (1)*help

See more

Keywords

Details 詳細情報について

  • CRID
    1390282679572409088
  • NII Article ID
    130003593836
  • DOI
    10.11470/oubutsu1932.67.659
  • COI
    1:CAS:528:DyaK1cXjsFGht7k%3D
  • ISSN
    21882290
    03698009
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
    • Crossref
  • Abstract License Flag
    Disallowed

Report a problem

Back to top