極めて薄いSiO蒸着膜の絶縁破壊特性

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タイトル別名
  • Dielectric Breakdown Characteristics of Extremely Thin SiO Films
  • キワメテ ウスイ SiO ジョウチャク マク ノ ゼツエン ハカイ トクセイ

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抄録

記事分類: 電気工学--電気材料・部品--絶縁材料 ; 電気工学--電子工学--電子部品--固体素子

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