クリーンルーム雰囲気中のアンモニア及びアミンガスを監視するウエットデニューダ方式の自動モニタ

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タイトル別名
  • An Automated Basic Gases Monitor Coupled with a Parallel-plate Wet Denuder for Monitoring of Ammonia and Amines in Clean Rooms
  • クリーンルーム フンイキ チュウ ノ アンモニア オヨビ アミンガス オ カンシ スル ウエットデニューダ ホウシキ ノ ジドウ モニタ

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説明

クリーンルーム雰囲気に含まれる微量アンモニア（NH3）及びアミンガスを準リアルタイムで監視できる塩基性ガス自動モニタを開発した．塩基性ガスの捕集には自作のウエットデニューダを用いた．ガス成分を捕集した捕集液は，10方電動バルブに装備された2本の陽イオン濃縮カラムの片方に送液され，そこでガス成分が濃縮される．10方電動バルブは15分毎に切り替わり，濃縮成分は逐次的にイオンクロマトグラフで定量される．このときにウエットデニューダから送られてくる捕集液は，もう一方の濃縮カラムに送られ，そこで捕集液中のガス成分が濃縮されるため，本モニタは塩基性ガス濃度を連続的に監視することができる．ウエットデニューダは，ガス吸引流量2.5 L min−1においてモノエタノールアミン（MEA）ガスを定量的に捕集し，MEAガスの濃度変化に対しても十分な応答性を示した．NH3，MEA及びN-メチルエタノールアミン（N-MEA）ガスの検出限界値は，それぞれ0.005 μg m−3，0.01 μg m−3，0.02 μg m−3であり，本モニタを半導体製造ラインのクリーンルーム雰囲気中NH3とN-MEAガスの連続測定に応用した．

収録刊行物

  • 分析化学

    分析化学 66 (7), 503-508, 2017

    公益社団法人 日本分析化学会

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