プラズマ応用の新しい展開―５　　プラズマによる微細針状シリコンの形成

DOI Web Site Web Site 被引用文献2件 参考文献6件

書誌事項

タイトル別名
  • Fabrication of Silicon Micro-Needles by Using Plasma Process.
  • プラズマ ニ ヨル ビサイ ハリジョウ シリコン ノ ケイセイ

この論文をさがす

収録刊行物

  • 電気学会誌

    電気学会誌 123 (10), 656-659, 2003

    一般社団法人 電気学会

被引用文献 (2)*注記

もっと見る

参考文献 (6)*注記

もっと見る

関連プロジェクト

もっと見る

キーワード

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ