書誌事項
- タイトル別名
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- Effect of Nb Concentration on Thermal Diffusivity of Nb-Doped TiO<sub>2</sub> Films
- NbドープTiO2薄膜の熱拡散率に対するNb添加効果
- Nb ドープ TiO2 ハクマク ノ ネツ カクサンリツ ニ タイスル Nb テンカ コウカ
- Effect of Nb Concentration on Thermal Diffusivity of Nb-Doped TiO2 Films
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説明
DCマグネトロンスパッタ法により,TiO2-xおよびNb:TiO2-x還元ターゲット(Nb含有量:3.7,9.5at.%)を用いて,Mo/TiO2/MoおよびMo/Nb:TiO2/Mo3層膜を作製し,TiO2およびNb:TiO2の熱拡散率を導出した.なおTiO2層およびNb:TiO2層は基板温度を110°Cの条件での300nm厚さに成膜し,成膜後600°Cで焼成を行った.熱拡散率解析は裏面加熱/表面測温型ナノ秒サーモリフレクタンス熱物性解析装置を用いた.得られたTiO2およびNb:TiO2の熱拡散率は、膜中のNb含有量が増加するに従い2.1×10-6m2s-1から1.2×10-6m2s-1まで減少した.熱拡散率減少のメカニズムはTiより質量の大きいNb原子の増加によりフォノン散乱の確率が増加し、平均自由行程が減少したためであると考えられる.
収録刊行物
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- 熱物性
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熱物性 25 (3), 117-120, 2014
日本熱物性学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679643912832
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- NII論文ID
- 10029335719
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- NII書誌ID
- AN10064743
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- ISSN
- 1881414X
- 0913946X
- http://id.crossref.org/issn/0913946X
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- NDL書誌ID
- 11219681
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可