Clean and Non-contact Transportation Technology. Electrostatic Suspension and Propulsion of Silicon Wafer and Glass Plate.

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  • 最近のクリーン・非接触搬送技術　静電気力によるシリコンウエハとガラスの非接触搬送
  • セイデン キリョク ニヨル シリコン ウエハ ト ガラス ノ ヒ セッショク

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