Development of Low Energy Electron Beam Proximity Projection Lithography
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- SHIMAZU Nobuo
- (株)リープル
Bibliographic Information
- Other Title
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- 荷電ビームを応用する加工と計測 低加速電子ビーム近接転写技術の開発
- カイセツ テイカソク デンシ ビーム キンセツ テンシャ ギジュツ ノ カイハツ
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Journal
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- Journal of the Japan Society for Precision Engineering
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Journal of the Japan Society for Precision Engineering 67 (9), 1398-1402, 2001
The Japan Society for Precision Engineering
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679773443200
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- NII Article ID
- 110001373226
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- NII Book ID
- AN1003250X
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- ISSN
- 1882675X
- 09120289
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- NDL BIB ID
- 5900922
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
