書誌事項
- タイトル別名
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- Cubic BN film formation by laser PVD.
- レーザ PVDホウ ニ ヨル cBN マク
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抄録
CO2レーザを用いたレーザPVD法の特徴を紹介し,またNイオン同時照射により,化学量論比に近いcBN膜の作成が可能であることを示した.膜質および基材との密着性の向上を図り,コーティング工具として実用可能なcBN膜を作成することが当面の課題といえる.
収録刊行物
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- 精密工学会誌
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精密工学会誌 53 (10), 1532-1535, 1987
公益社団法人 精密工学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679773526912
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- NII論文ID
- 110001368995
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- NII書誌ID
- AN1003250X
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- ISSN
- 1882675X
- 09120289
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- NDL書誌ID
- 3157989
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可