精密・超精密位置決めの現状と将来予想　　精密・超精密位置決めの高速化　　ボールねじ対リニアモータ

DOI Web Site 被引用文献23件 参考文献10件

書誌事項

タイトル別名
  • Speed Up of Precision/Ultraprecision Positioning
  • カイセツ セイミツ チョウセイミツ イチギメ ノ コウソクカ ボールネジ タイ リニアモータ
  • ボールねじ対リニアモータ

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 67 (2), 179-183, 2001

    公益社団法人 精密工学会

被引用文献 (23)*注記

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参考文献 (10)*注記

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