【ナノ精度機械加工専門委員会】M<SUP> 4</SUP>プロセスの新しい世界を拓く

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タイトル別名
  • To the New Frontier of Nano-Precision M<SUP> 4</SUP> Processes
  • ナノ セイド キカイ カコウ センモン イインカイ M4プロセス ノ アタラシイ セカイ オ ヒラク ナノ セイド サブミリ キカイ カコウ
  • ナノ精度サブミリ機械加工

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 70 (8), 1014-1016, 2004

    公益社団法人 精密工学会

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