サブミクロン感度をもつモアレトポグラフィ法

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タイトル別名
  • Moire topography with sensitivity of sub-micrometer.
  • サブミクロン カンド オ モツ モアレ トポグラフィホウ

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説明

記事分類: 測定・測定器

収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 55 (1), 152-154, 1989

    公益社団法人 精密工学会

被引用文献 (5)*注記

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