【超精密加工専門委員会】原子制御製造プロセスの創出に向けて

DOI Web Site 参考文献14件

書誌事項

タイトル別名
  • Atomically Controlled Fabrication Process as the Next Generation Ultra-Precision Machining Technology
  • 超精密加工専門委員会 原子制御製造プロセスの創出に向けて
  • チョウセイミツ カコウ センモン イインカイ ゲンシ セイギョ セイゾウ プロセス ノ ソウシュツ ニ ムケテ

この論文をさがす

収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 79 (10), 887-890, 2013

    公益社団法人 精密工学会

参考文献 (14)*注記

もっと見る

キーワード

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ