走査型プローブ顕微鏡による薄膜表面粗さ測定のJIS化

DOI Web Site
  • 草野 英二
    金沢工業大学高度材料科学研究開発センター

書誌事項

タイトル別名
  • Standardization of Surface Roughness Measurements of Fine Ceramics Thin Films by Scanning Probe Microscopy
  • ソウサガタ プローブ ケンビキョウ ニ ヨル ハクマク ヒョウメン アラサ ソクテイ ノ JISカ

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 79 (3), 205-208, 2013

    公益社団法人 精密工学会

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