LSI Failure Analysis Using Laser Terahertz Emission Microscope

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  • YAMASHITA Masatsugu
    理化学研究所光量子工学研究領域テラヘルツイメージング研究チーム
  • OTANI Chiko
    理化学研究所光量子工学研究領域テラヘルツイメージング研究チーム
  • MATSUMOTO Toru
    浜松ホトニクス (株) システム事業部第18部門
  • GOTO Yasunori
    トヨタ自動車 (株) パワーエレクトロニクス開発部
  • TONOUCHI Masayoshi
    大阪大学レーザーエネルギー学研究センターレーザーテラヘルツ研究部門
  • NAKAMAE Koji
    大阪大学大学院情報科学研究科情報システム工学専攻
  • NIKAWA Kiyoshi
    金沢工業大学大学院工学研究科高信頼ものづくり専攻

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  • レーザー励起テラヘルツ放射イメージングを利用したLSI故障解析
  • レーザーレイキテラヘルツ ホウシャ イメージング オ リヨウ シタ LSI コショウ カイセキ

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