エポキシ化合物により熱硬化性を付与したポジ型フォトレジストの透明性への熱硬化反応の影響

DOI Web Site

書誌事項

タイトル別名
  • Influence of Epoxy Group Reactivity on Transparency of Thermocurable Positive-type Photoresist
  • エポキシ カゴウブツ ニ ヨリ ネツ コウカセイ オ フヨシタ ポジガタ フォトレジスト ノ トウメイセイ エノ ネツ コウカ ハンノウ ノ エイキョウ

この論文をさがす

説明

液晶ディスプレイの表示品質を向上するために, TFT素子を覆い平坦な面を形成する感光性平坦化膜が使用されている。この感光性平坦化膜には, エポキシ化合物を添加して熱硬化性を付与されたポジ型フォトレジストが用いられ, 我々はその機能向上について検討を行っている。検討中, 保存安定性を高めた組成のフォトレジストから得られた平坦化膜が白濁し, 品質を低下させる現象が起きたが, 長鎖カルボン酸を添加することにより白濁は抑制され, 高保存安定性・高感度のフォトレジストを得ることが出来た。本報告では, 長鎖カルボン酸による白濁防止効果を詳細に検討するために, 硬化反応を近赤外吸収スペクトルにより観察した。その結果, 硬化反応は共重合体中のカルボキシル基と硬化剤であるエポキシ化合物との反応により進行しており, プロセス中に共重合体とエポキシ化合物がミクロ相分離し, 硬化反応が不均一となるために白濁化が起きていることがわかった。さらに, 長鎖カルボン酸はミクロ相分離を抑制することにより反応を均一化し, 白濁化を防止していることが明らかとなった。

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ