Direct Imaging Exposure Equipment with High Overlay Accuracy for Flexible Substrate in Roll-to-Roll Method

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  • ロールトゥロール方式高精度ダイレクトウェブ露光装置の開発

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フレキシブル基板上に電子回路を作製するフレキシブルエレクトロニクスは，そのフレキシブル性，形状の自由度の高さ，生体親和性などにより，従来のシリコンをベースにしたエレクトロニクスでは対応できない領域への応用が期待されており，現在研究が数多くなされている．フレキシブル基板上に薄膜トランジスタを製作するためには高い重ね合わせ精度が要求されるが，そのフレキシブル性のために基板の変形が大きく，フレキシブル基板に直接，高い重ね合わせ精度でパターンを作製することは困難であった．われわれは本問題を解決するために，ロールトゥロール方式の直描露光機のコンセプト実証機を開発した．開発装置を用いてPETフィルム上に直接±5_m以下の重ね合わせ精度のパターンを作製することに成功したので報告する．

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