反応性固相エピタキシャル成長法 : 層状複合酸化物の高品質エピタキシャル薄膜を作製するための強力な手法

DOI Web Site Web Site 被引用文献1件 参考文献92件
  • 太田 裕道
    名古屋大学大学院工学研究科 科学技術振興機構 CREST 科学技術振興機構 ERATO-SORST

書誌事項

タイトル別名
  • Reactive Solid-Phase Epitaxy: A Powerful Method for Epitaxial Film Growth of Complex Layered Oxides
  • (Review)

この論文をさがす

説明

High-quality epitaxial film growth for several complex oxides having layered structure by “Reactive Solid-Phase-Epitaxy (R-SPE1))” is reviewed. Materials focused are InGaO3(ZnO)m (m=integer), LaCuOS and NaxCoO2 (x~0.8). For the epitaxial film growths of the complex systems with a complicated layered crystal structure, it is necessary to form an epitaxial template layer before the film deposition, followed by the thermal annealing of the bilayer films. The layers subsequently deposited on the template layer may be amorphous, polycrystalline or powder, which allows control of the epitaxially grown films in the R-SPE method.<br>

収録刊行物

被引用文献 (1)*注記

もっと見る

参考文献 (92)*注記

もっと見る

キーワード

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ