新しい高圧マイクロジェット洗浄技術の提案とその装置化

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タイトル別名
  • Proposal and Apparatus of a High Pressure Micro Jet (HPMJ) Cleaning Technique
  • 新しい高圧マイクロジェット洗浄技術の提案とその装置化--ポリッシングパッドのコンディショニングへの適用
  • アタラシイ コウアツ マイクロジェット センジョウ ギジュツ ノ テイアン ト ソノ ソウチカ ポリッシングパッド ノ コンディショニング エ ノ テキヨウ
  • —Adaptation to Pad Conditioning—
  • ―ポリッシングパッドのコンディショニングへの適用―

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抄録

本研究は, 高圧水を特殊ノズルより, マイクロメータオーダの微小液滴を高エネルギー化させて洗浄対象物に噴射する超高圧マイクロジェット精密洗浄を考案し, この技術確立を目指して, 噴射される飛行液滴の運動解析から洗浄要因効果を追求する. この理論の解析に基づき超高圧マイクロジェット精密洗浄装置を試作, 開発して, パッドのコンディショニングへの適応を試み, その効果を明らかにした.

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