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- 橋川 淳
- (株) 日本自動車部品総合研究所
書誌事項
- タイトル別名
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- Optical Method for Measuring In-plane Micro Displacement of Micro-device
- コウガクテキ シュホウ ニ ヨル ビサイ コウゾウタイ ノ メン ナイ ヘンイ ケイソク
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説明
In this paper, a novel method for measuring nanometer order in-plane displacement of mechanical element in MEMS device will be proposed. Present method is based on the measurement of reflected light intensity irradiated on the edge of measuring target, where the work stage is traversed in the direction of displacement of the mechanical element, under applying AC vibration parallel to the direction of displacement of the element. By applying this method, measurement of displacement under 10 nm can be achieved.
収録刊行物
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- 精密工学会誌論文集
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精密工学会誌論文集 70 (4), 517-521, 2004
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680257268736
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- NII論文ID
- 110001823970
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- NII書誌ID
- AA11966630
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- ISSN
- 18818722
- 13488716
- 13488724
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- NDL書誌ID
- 7072924
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可