国産球面収差補正電子顕微鏡　Ｒ００５の開発

DOI Web Site 被引用文献1件 参考文献31件
  • 谷城 康眞
    独立行政法人科学技術振興機構・CREST 東京工業大学・大学院理工学研究科・物性物理学専攻
  • 近藤 行人
    独立行政法人科学技術振興機構・CREST 日本電子株式会社
  • 高柳 邦夫
    独立行政法人科学技術振興機構・CREST 東京工業大学・大学院理工学研究科・物性物理学専攻

書誌事項

タイトル別名
  • Development of Domestic Spherical Aberration Correction Electron Microscope, R005
  • コクサン キュウメン シュウサ ホセイ デンシ ケンビキョウ R005 ノ カイハツ

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説明

  A domestic spherical aberration corrected 300 kV transmission electron microscope named R005, which stands for 0.05 nm resolution, was developed. It has double aberration correctors in probe-forming and image-forming systems for high-resolution scanning transmission electron microscope (STEM) and conventional transmission electron microscope (TEM) observation. Asymmetric corrector optic system was developed to compress the parasitic aberration and the increase of chromatic aberration. Automatic aberration correction systems for STEM and TEM have been implemented. Neighboring atomic columns of Ga (63 pm spacing) in a GaN [211] crystalline specimen was resolved in a high angle annular dark field (HAADF) STEM image for the first time.<br>

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