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- 福谷 克之
- 東京大学生産技術研究所
書誌事項
- タイトル別名
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- Surfaces in Vacuum Technology
- シンクウ ト ヒョウメン
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抄録
Any vacuum chamber has interior surfaces of the chamber facing toward the vacuum. Interaction of gas molecules with the chamber surface including scattering, adsorption and desorption is thus of particular importance for vacuum technology. The present article describes fundamental concepts of gas-surface interaction, which encompass the thermal accommodation coefficient, cosine law, adsorption potential, mean time of sojourn and adsorption isotherm.<br>
収録刊行物
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- Journal of the Vacuum Society of Japan
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Journal of the Vacuum Society of Japan 56 (6), 204-209, 2013
一般社団法人 日本真空学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680272295168
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- NII論文ID
- 10031177168
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- NII書誌ID
- AA12298652
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- BIBCODE
- 2013JVSJ...56..204F
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- COI
- 1:CAS:528:DC%2BC3sXhtlWit7rF
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- ISSN
- 18824749
- 18822398
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- NDL書誌ID
- 024691638
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可