Development of Pulse Power Supplies as High Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS) Equipment Components for Medical Diamond Like Carbon (DLC) Film Fabrication Processes
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- KUROIWA Masahide
- Tokyo Electronics Co., Ltd
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- NAKATANI Tatsuyuki
- Okayama University of Science
Bibliographic Information
- Other Title
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- 医療用ダイアモンド状炭素(DLC)成膜に最適な大電力パルスマグネトロンスパッタ(HiPIMS)用パルス電源の開発
- イリョウヨウ ダイアモンドジョウ タンソ(DLC)セイマク ニ サイテキ ナ ダイ デンリョク パルスマグネトロンスパッタ(HiPIMS)ヨウ パルス デンゲン ノ カイハツ
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Journal
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- Journal of the Vacuum Society of Japan
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Journal of the Vacuum Society of Japan 60 (9), 372-375, 2017
The Vacuum Society of Japan
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680272786816
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- NII Article ID
- 130006077274
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- NII Book ID
- AA12298652
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- ISSN
- 18824749
- 18822398
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- NDL BIB ID
- 028531548
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles