ポリイミド薄膜への気体吸着挙動の反射率法による解析

  • 宮崎 司
    日東電工株式会社基幹技術センター
  • 島津 彰
    日東電工株式会社基幹技術センター

書誌事項

タイトル別名
  • サンギョウ ・ イリョウカイ ノ チュウセイシ サイエンス ポリイミド ハクマク エ ノ キタイ キュウチャク キョドウ ノ ハンシャ リッポウ ニ ヨル カイセキ

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収録刊行物

  • 波紋

    波紋 11 (4), 16-23, 2001

    日本中性子科学会

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