レーザスペックル法による金属表面粗さ計測と工業製品への適用

書誌事項

タイトル別名
  • Application of Laser Speckle Method to Measurement of Surface Roughness of Metal and Manufactured Products

説明

加工技術の精密化に伴い,表面粗さ測定の重要性も高まりを見せている.表面粗さは,外観や寸法精度だけでなく摩擦や磨耗,気密性,疲労強度,耐食性など様々な機能に影響を与える.ラインによる大量生産の製造工程において製品の精度管理は重要であり,理想は製品の全数検査である.しかし,現在これを可能とする装置は開発されていない.本研究では,レーザスペックル法により全数検査を可能とするオンライン計測システム開発の検討を行った.レーザスペックル法とは,コヒーレント光であるレーザ光が試料表面で反射した際,表面の凹凸を反映した干渉現象が生じることを利用した手法である.本手法は,構成要素の少ない簡便な装置系で実現され,かつ迅速な測定が可能である.今回の実験で,金属表面粗さについてJISとの相関を得ることができ,また,工業製品への適用も確認できた.今後,実用化に向け,精度や汎用性など更なる技術の向上を目指していく.

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680529510784
  • NII論文ID
    130006954579
  • DOI
    10.11515/ieijac.43.0.144.0
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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