Experiment of wet-etching with spry nozzle for copper in ferric chloride solution

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  • 塩化第二鉄溶液による銅のウェットエッチングに関するスプレー実験

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これまで、代表的な乱流場である攪拌槽でのウェットエッチングを行ってきたが、実操業ではスプレーノズルを用いて強い乱流場でエッチングを行っている。そこで、スプレーノズルを用いて塩化第二鉄溶液による銅のエッチングを行った。流量、液温などの条件を変化させエッチング速度、見かけの活性化エネルギー、キャビテイ形状などに対する影響について考察を行った。

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  • CRID
    1390282680530964992
  • NII Article ID
    130005010682
  • DOI
    10.11486/ejisso.18.0.177.0
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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