熱・電気連成解析における緩和時間が発熱に与える影響

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タイトル別名
  • Impact of the Relaxation Time on Heat Generation in Electro-Thermal Analysis

抄録

半導体デバイスの熱問題が深刻化している現在、Si MOSFETの適切な熱設計が求められており、熱・電気連成解析はその有力候補である。 熱・電気連成解析は、ボルツマン方程式の散乱項を緩和時間で近似することによって解かれ、緩和時間は専ら定数などが用いられる。しかし、緩和時間は発熱現象に密接に結びついており、より正確な緩和時間がより正確な発熱予測を可能とする。今回、我々はモンテカルロシミュレーションにより、運動量緩和時間及びエネルギー緩和時間を求め、それらの結果を熱・電気連成解析にフィードバックすることによって、従来の熱・電気連成解析との比較を行った。

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  • CRID
    1390282680563013376
  • NII論文ID
    130005018903
  • DOI
    10.11368/nhts.2009.0.315.0
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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